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什么是单晶硅炉烘箱
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更新日期:2009-11-30  点击:   [ 关 闭 ]

一、用途

本单晶硅干燥台车式烘箱适用于粉末烘干及硅晶片烘干之用。

    本单晶硅烘箱是由体、台车、加热元件、排气系统、控制系统等组合。

1、 炉体是采用角钢、槽钢等型号材料焊接而成。

     外壳材料是采用2㎜冷轧板焊接,内衬钢板也是2㎜固定。胃料全部采用优质角钢支架,两层钢板空间填满保温材料,保温材料的材质为高纯纤维棉,保温层厚度为120㎜。

2、  台车采用手动型,结构为槽钢钢板焊接,下部安装4只走轮,道轨采用15路轨,本台设备配备2台台车架。

     台车的上部焊有装料机架,四周采用家管焊接,分两层,装料时,先把台车平面一层装好,再把上层的装料架与下层的定位套对正放平,然后装料使用。装好工件后手工推入炉膛进行加热。

3、 加热元件采用管状加热器,分布在两侧及底部。加热器的材质为不锈钢管发热段。

4、排气系统采用空管连排,从炉顶到车间外面。

5、 控制系统采用PID可控硅控制,上海国龙智能表操作。(温度设定、时间设定、功率可调节大小)

6、   在加热元件外围加一保护网,防止碳化硅在烘焙过程中包装袋与加热元件直接接触燃烧。

使用说明及维护

1、 操作人员必须了解以下几点:

A、 电炉及其辅助设备的结构和性能。

B、   配电系统、控制系统的布置及安全装置的位置等。

C、 操作工艺和安全操作规程。

2、 运行前准备工作

A、 检查设备的电源是否正常。

B、   检查接地装置接线处的接触是否良好。

C、 检查加热元件是否有损坏的地方,各连接处的接触是否良好,有否与炉体及罩壳相接触的地方,并进行电炉的绝缘试验。

D、 检查温控系统是否有不正常的现象。

3、 带有腐蚀性、挥发性、爆炸性气体的工件严禁进入炉体加工,以免影响加热元件和耐火材料的使用寿命及引起爆炸等事故。

4、 电炉不得超温运行,否则会缩短设备的使用寿命。

5、 严禁野蛮操作,工件应轻放,避免冲击。

6、 工件排放应留有空隙,有利于热量的流通,使工件受热均匀。

7、 电炉使用时操作人员不得擅自离开岗位,必须随时注意电炉的工作状况是否正常,

8、 电炉在进行装卸工件时,必须先切断加热元件电源,以保证操作人员的安全。

9、检查热电偶的使用情况,防止因热电偶的损坏造成测温不

正确而影响产品质量。



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